半导体行业芯片加工机台数据采集,如何同时保证效率和准确性?
标签:传输学堂 / 2024年4月9日
半导体行业的重要性不言而喻,随着互联网时代技术的不断更新和演进,芯片的应用更加广泛,新能源、信息通讯设备、4C产业、智能电网等领域均需要芯片的支撑。而芯片的制造涉及多个关键步骤,包括晶圆制备、氧化、光刻、刻蚀、薄膜沉积等。在制造过程中,精密的设备和技术被用来确保芯片的质量和性能。
芯片加工过程会产生大量的数据和文件,为了保证芯片生产的精密性和准确性,需要对机台数据采集,分析和利用,所以,对于半导体行业来说,机台数据采集是极为重要的一环,它关系到芯片生产动态是否能被准确、及时掌握、生产问题是否能得到及时排查和纠正,最终关系到芯片的良率和企业投入产出比。
一般而言,芯片加工过程中机台数据采集种类包括但不限于以下:
制造过程数据:
晶圆数据:晶圆表面的质量、尺寸、杂质浓度等参数。
沉积层数据:包括沉积层的厚度、均匀性、组成等。
蚀刻数据:蚀刻的深度、形状、精度等。
光刻数据:曝光剂量、焦距、曝光时间等。
离子注入数据:离子种类、能量、剂量等。
温度和压力数据:在热处理和其他制造步骤中,需要精确控制温度和压力。
设备状态数据:
设备运行参数:设备的电流、电压、功率等运行参数。
设备故障和维护记录:记录设备的故障信息、维护时间和维护内容。
质量控制数据:
检测数据:包括芯片表面和内部结构的显微图像、尺寸测量、电学性能测试等。
质量评估报告:基于检测数据对芯片质量进行评估的报告。
半导体企业通过多种⽅式来进⾏机台数据的汇集和处理,如FTP脚本、机台⾃带数据上报⼯具等,但在实际的⽣产运⽤中,仍存在较多问题和挑战,如:
⽆法统⼀采集,企业基于不同业务需求采购不同⼚商、规格、运作模式的机台设备,难以采⽤统⼀的⽅式进⾏数据的汇集;
⽆法保障可靠性,当机台数量过多、达到上百上千台时,极易出现机台数据未采集或采集不全的情况,且难以获知和排查;
不能响应多种采集策略,不能对不同机台实⾏不同的采集策略,难以落实精细的采集需求。
那么,半导体企业该如何替代原有的机台数据采集方式,在保证数据采集的准确性的同时,不影响数据采集和应用的效率呢?
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1.可靠数据采集,保证数据准确性
可靠、准确、灵活地响应企业多机台数据采集需求,以统⼀的⽅式帮助企业构建了安全⾼效的机台数据采集管控通道,及时发现⽣产问题、发挥数据价值。
2.精细化数据授权,安全有效使⽤数据
可基于系统对汇集后的机台数据进⾏精细的⼈员使⽤授权,避免了数据权限粗放式管理带来的安全⻛险,充分发挥数据的价值。
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灵活的数据采集策略、可视可控的数据采集过程、及时的问题告警机制,能极⼤释放⼈⼒管理投⼊,让管理更轻简⾼效。
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